氦气泄漏检测的方法——容大检测
氦气泄漏检测是一种极其灵敏且广泛应用的无损检测技术,主要用于查找各种密封系统(从微型电子元件到大型工业设备)中的微小泄漏点。
一、检测方法
真空喷氦法(内向检漏法)
原理:被测件内部抽真空(≤5×10⁻³ Pa),外部喷氦气;漏点处氦气被吸入质谱仪检测。
适用场景:可抽真空的封闭系统(如真空腔体、半导体设备)。
灵敏度:最高达5×10⁻¹³ Pa·m³/s。
吸枪法(外向检漏法)
原理:被测件内部充氦气(压力0.1–0.3 MPa),外部用吸枪扫描捕获逸出氦气。
适用场景:大型设备(如储罐)、带压系统或不可抽真空部件。
限制:环境氦背景需低于10⁻⁷ Pa,扫描速度≤25 mm/s。
累积法(罩罩法)
原理:充氦工件外罩密闭腔体,累积泄漏氦气后采样分析。
适用场景:微小泄漏检测(如核燃料棒、医疗器械)。
灵敏度:最小可测漏率1×10⁻⁷ mbar·L/s。
进阶技术
背压法:工件高压氦浸泡后转入真空室测量逸出量。 多探头同步监测:128通道并行采集,提升效率。
二、标准规范
容大检测成立于2008年,是一家专业第三方研究机构,拥有CMA和CNAS双重资质。秉承“科学,公正、创新、高效”的质量方针,容大检测为您提供氦气泄漏检测测试服务。
涉及测试:氦气泄露检测
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